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Microtechnologie
Manufacturing technology for making microscopic devices in the micrometer range (typically 1-100 micrometers), such as integrated circuits or MEMS. The process usually involves replication and parallel fabrication of hundreds or millions of identical structures using various thin film deposition techniques and carried out in environmentally-controlled clean rooms.
Synonyme(s)
Micro-fabrication; Micro-technologie; Micro-usinage; MicrofabricationRelation(s)
- voir aussi au terme générique : [Descripteurs (mots clés)] Disciplines des sciences naturelles
- voir aussi au terme générique : [Descripteurs (mots clés)] Miniaturisation
- voir aussi au terme spécifique : [Descripteurs (mots clés)] Microfluidique
Descripteur (mot clé) vide
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